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发明名称 MEMS SYSTEM AND METHOD FOR A MEMS TRANSDUCER
摘要 본 명세서에 설명된 실시예는 제 1 MEMS 트랜스듀서 요소, 제 2 MEMS 트랜스듀서 요소 및 반도체 기판을 갖는 MEMS(microelectromechanical system)를 포함한다. 제 1 및 제 2 MEMS 트랜스듀서 요소는 반도체 기판의 상부 표면에 배치되고, 반도체 기판은 제 1 및 제 2 MEMS 트랜스듀서 요소에 음향적으로 연결된 공유 캐비티를 포함한다.
申请公布号 KR101686711(B1) 申请公布日期 2016.12.14
申请号 KR20140152973 申请日期 2014.11.05
申请人 인피니언 테크놀로지스 아게 发明人 퓨엘드너 마르크;수 슈-팅;만들 크리스챤;바이스바우어 안드레아스
分类号 H04R19/04;H04R3/06 主分类号 H04R19/04
代理机构 代理人
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