蒸镀装置及包含基于蒸镀装置的成膜工序的制造方法

摘要

本发明提供蒸镀装置及包含基于蒸镀装置的成膜工序的制造方法，能够使具有立体形状的工件的各个面的蒸镀量的偏差变小。蒸镀装置具备：拱顶，其构成为绕中心轴线旋转；环状的链条，其围绕中心轴线并且配置于拱顶上；传递轴，其传递拱顶的旋转运动；第一齿轮部，其将拱顶的旋转运动转换为传递轴的旋转运动；第二齿轮部，其具备链条驱动链轮，并将传递轴的旋转运动转换为链条驱动链轮的旋转运动；以及托盘保持件，其沿环状的链条配置在拱顶上，并且具备第一内部传递轴和保持托盘的旋转部。蒸镀装置构成为，通过拱顶的旋转而使链条驱动链轮旋转从而驱动环状的链条，使第一内部传递轴旋转，通过第一内部传递轴的旋转而使旋转部旋转。

主权项

一种蒸镀装置，该蒸镀装置具备：拱顶，其构成为绕中心轴线旋转；环状的链条，其围绕该中心轴线并且配置于该拱顶上；传递轴，其传递该拱顶的旋转运动；第一齿轮部，其将该拱顶的旋转运动转换为该传递轴的旋转运动；第二齿轮部，其具备链条驱动链轮，并将该传递轴的旋转运动转换为该链条驱动链轮的旋转运动；以及托盘保持件，其沿该环状的链条配置在该拱顶上，并且具备第一内部传递轴和构成为保持托盘的旋转部，其中，该蒸镀装置构成为，通过该拱顶的旋转使该链条驱动链轮旋转从而驱动该环状的链条，通过该环状的链条的运动而使该托盘保持件的该第一内部传递轴旋转，通过该第一内部传递轴的旋转而使该旋转部旋转。