| 摘要 |
진공 라미네이터는 상하 이동을 통해 포토레지스트용 필름을 가접한 기판을 출입시키는 하부 진공 챔버, 탄성 패드와 상기 탄성 패드의 상하부에서 가장자리를 따라 고정시키는 고정 프레임을 포함하고, 상기 하부 진공 챔버 상에 배치되는 다이어프램 및 상기 다이어프램 상에 배치되고 상기 하부 진공 챔버와 대향하며, 상기 탄성 패드를 상기 하부 진공 챔버 방향으로 가압하여 상기 포토레지스트용 필름을 상기 기판에 밀착시키는 상부 진공 챔버를 포함한다. 따라서, 진공 라미네이터는 인쇄회로기판에 커버레이 필름(Cover-Lay Film) 또는 포토레지스트용 드라이 필름(Photoresist Dry Film)을 가접하고, 가접한 필름을 라미네이팅할 때 사용할 수 있는 다이어프램을 제공할 수 있다. |
