マクロ粒子を含む皮膜及びその皮膜を形成する陰極アークプロセス

摘要

【課題】ワーク片８上に、マクロ粒子を含む皮膜を形成する陰極アークプロセスとマクロ粒子を含む皮膜の製法を提供する。【解決手段】ワーク片８を陰極アーク装置２に挿入して、陰極材料ＡＢＣにアークを照射し、陰極材料ＡＢＣを蒸発させてワーク片８上に皮膜を形成する。アークの照射パラメータを調整して、液体、半固体もしくは固体の状態のマクロ粒子を形成して、皮膜の内部または表面に固定し、皮膜に所望の特性を付与する。【選択図】図３