用于雷射生成式电浆超紫外线（ＥＵＶ）光源之源材料收集单元

摘要

揭露一种超紫外光(EUV)光源，其能够包含一产生一雷射光束之雷射源以及一源材料，例如锡、四溴化锡、溴化锡、四氢化锡、锡－镓合金、锡－铟合金、锡－铟－镓合金或其组合，该源材料系藉由雷射光束加以照射，以形成一电浆，并发出EUV光线。该EUV光源亦能够包含一光束收集器，其布置成接受雷射光束、以及一个将光束收集器之温度控制在一预先选定范围内的系统。在一实施例中，该源材料能够在一照射区域进行照射，且该光源能够进一步包含一接收构造，其形成具有一表面，该表面之形状系用以接受从照射区域射出的源材料，并且导引该经过接受之源材料供后续收集之用。接收构造与光束收集器能够形成为一个单一整体单元。