| 摘要 |
Zweck der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung einer Ladungsteilchenstrahlvorrichtung und eines Probenhalters für die Ladungsteilchenstrahlvorrichtung, mit denen es möglich ist, verschiedene Umgebungen zu bilden und in-situ-Beobachtungen und -Untersuchungen durchzuführen, ohne die Probe aus der Ladungsteilchenstrahlvorrichtung (1) zu entfernen. Bei der vorliegenden Erfindung ermöglicht das Einsetzen eines abnehmbaren rückseitigen Einlassabschnitts (17) von der einer Probenhalteinrichtung (6) zugewandten Seite aus, wobei der Abschnitt (17) mit einer Funktion zum Ändern des Zustands einer an der Probenhalteeinrichtung befestigten Probe (10) versehen ist, das Beobachten/Untersuchen von Veränderungen in der Probe durch ein anderes Verfahren, ohne die Probe aus der Ladungsteilchenstrahlvorrichtung zu entfernen, indem ein rückseitiger Einlassabschnitt mit einer anderen Funktion mit der Probenhalteeinrichtung verbunden wird. Der rückseitige Einlassabschnitt ist aus zwei Teilen gebildet, und die Spitze dieses Abschnitts, die einen der beiden Teile bildet, ist abnehmbar. Nachdem der rückseitige Einlassabschnitt auf der Probenhalteeinrichtung befestigt ist, kann die Probe transportiert werden, während die Atmosphäre unverändert aufrechterhalten wird, und die Probe kann zwischen verschiedenen Vorrichtungen transportiert werden, ohne sie der Luft auszusetzen. |
