Anordnung zur Bestrahlung einer Objektfläche mit mehreren Teilstrahlen ultrakurz gepulster Laserstrahlung

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Anordnung zur Bestrahlung einer Objektfläche mit mehreren Teilstrahlen gepulster Laserstrahlung, insbesondere zur Laserbearbeitung, die wenigstens einen diffraktiven Strahlteiler, der zur Aufteilung eines eingekoppelten Laserstrahls in mehrere Teilstrahlen ausgebildet ist, und eine Fokussieroptik für die Projektion oder Fokussierung der Teilstrahlen auf die Oberfläche aufweist. Zwischen dem Strahlteiler und der Fokussieroptik sind in einer Ausgestaltung der Anordnung eine Kompensationseinrichtung zur Dispersionskompensation und ein Array aus Umlenkelementen angeordnet. Die Kompensationseinrichtung weist für jeden der Teilstrahlen getrennt jeweils ein optisches Element auf, das eine durch den diffraktiven Strahlteiler hervorgerufene angulare Dispersion des jeweiligen Teilstrahls zumindest teilweise kompensiert. Das Array aus Umlenkelementen richtet die Teilstrahlen nach Durchgang durch die Kompensationseinrichtung wieder so auf die Fokussieroptik, dass die Teilstrahlen über die Fokussieroptik nebeneinander auf die Objektfläche projiziert oder fokussiert werden. Mit der vorgeschlagenen Anordnung wird eine unerwünschte ungleichmäßige Verlängerung der Pulsdauern in den einzelnen Teilstrahlen vermieden, die zu negativen Effekten bei der Lasermaterialbearbeitung führen kann.