摘要 |
Die Erfindung betrifft einen Sensor (28) zum Erfassen einer physikalischen Größe (20), umfassend: – ein Sensorelement (35) zum Ausgeben eines von der physikalischen Größe (20) abhängigen elektrischen Signals (39), – ein das Sensorelement (35) tragendes Substrat (67), – eine das elektrische Signal (39) leitende Leiterbahn (68) auf dem Substrat (68), und – eine Einbettmasse (70), in die das Sensorelement (35) vollständig und die Leiterbahn (68) wenigstens teilweise eingebettet sind, – wobei in der Einbettmasse (70) wenigstens ein Ausgleichselement (40, 70', 76) ausgebildet ist, mit dem einem durch ein in der Einbettmasse (70) wenigstens teilweise eingebetteten Element des Sensors (28) hervorgerufenem mechanischen Stress (73) entgegengewirkt wird. |