发明名称 | 薄膜晶体管及平板显示装置 | ||
摘要 | 本发明公开了一种薄膜晶体管及平板显示装置。该薄膜晶体管具有布置于基底上的半导体层、布置于基底上和半导体层上的栅极绝缘层、以及布置于栅极绝缘层上的栅极,栅极绝缘层布置成厚度为从等于半导体层厚度至半导体厚度的1.5倍。栅极绝缘层可仅是氮化物层、仅是氧化物层、或由氮化物层和氧化物层两者构成的叠层膜。该薄膜晶体管能结合在用于平板显示装置的构造中。 | ||
申请公布号 | CN1599080A | 申请公布日期 | 2005.03.23 |
申请号 | CN200410089964.4 | 申请日期 | 2004.06.25 |
申请人 | 三星SDI株式会社 | 发明人 | 金勋;李基龙;徐晋旭 |
分类号 | H01L29/786;G02F1/136 | 主分类号 | H01L29/786 |
代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 李晓舒;魏晓刚 |
主权项 | 1.一种薄膜晶体管,包括:半导体层,布置于基底上;栅极绝缘层,布置于该基底上和该半导体层上;以及栅极,布置于该半导体层上的该栅极绝缘层上,其中该栅极绝缘层的厚度至少是该半导体层的厚度。 | ||
地址 | 韩国京畿道 |