静电吸盘组件和冷却系统

摘要

提供一种用于半导体制造装置的静电吸盘组件，其可用水冷却，并且不发生穿透泄漏。通过调节Cu基复合材料中的具有大的热膨胀系数的Cu和Ni以及具有小的热膨胀系数的W和Mo的比，可以得到具有与用于静电吸盘的氧化铝材料相同的热膨胀系数的高热导材料。但是，由于该复合材料具有穿透泄漏，不能在真空系统中使用。根据本发明，通过进行锻造处理，可防止击穿泄漏。同时，通过电镀或溅射施加Ni、Cr或Cu膜可改进对冷却板来说很重要的耐腐蚀性。

主权项

1、一种静电吸盘组件，包括：包含氧化铝的静电吸盘板；和结合到静电吸盘板的冷却板，其中该冷却板通过将包括Cu-W、Cu-W-Ni、Cu-Mo，或Cu-Mo-Ni的Cu基复合材料进行锻造处理而制成。