| 发明名称 |
DEVICE FOR MOUNTING AN OPTICAL ELEMENT, PARTICULARLY A LENS IN AN OBJECTIVE |
| 摘要 |
<p>Bei einer Vorrichtung zur Lagerung einer Linse (12) oder eines Spiegels in einem Objektiv, insbesondere einem Projektionsobjektiv (7) der Mikrolithographie zur Herstellung von Halbleiterelementen, ist die Linse (12) bzw. der Spiegel direkt oder über ein Zwischenelement mittels mehrerer Auflageelemente mit einer Fassung (13) verbunden. An der Linse (12) bzw. dem Spiegel oder dem Zwischenelement sind mehrere Auflagestellen (15) vorgesehen. Jede Auflagestelle (15) ist über Verbindungspunkte (16) jeweils mit einem Ende eines Waagbalkens (17) einer ersten Serie von Waagbalken verbunden. Die erste Serie von Waagbalken (17) ist so angeordnet, dass sich zur Befestigung an der Fassung (13) wenigstens drei Anlenkpunkte (14) ergeben.</p> |
| 申请公布号 |
WO2005017622(A1) |
申请公布日期 |
2005.02.24 |
| 申请号 |
WO2003EP07746 |
申请日期 |
2003.07.17 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT AG;RAU, JOHANNES |
发明人 |
RAU, JOHANNES |
| 分类号 |
G02B7/02;G02B7/182;G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G02B7/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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