一种半导体工厂用RFID读卡器

摘要

本实用新型公开了一种半导体工厂用RFID读卡器，包括兼容储位、天线组件、动作传感器、无线射频读写组件及通讯处理组件；天线组件其中前置天线用于读写FOUP，后置天线读写POD，动作传感器主要通过红外触发。当在线操作人员将各式8”，12”FOUP或POD放入兼容储位上，该读写装置即会通过红外传感器感应到晶圆承载盒并触发无线射频感应器读写晶圆承载盒上的无线射频标签并取得数据，如：识别数据(ID)。上报给工厂自动化执行系统，让产线工人能通过PC准确、快速的在系统端查到产品所在位置，及时下达作业指令。

主权项

一种半导体工厂用RFID读卡器，其特征在于：包括兼容储位、天线组件、动作传感器、无线射频读写组件及通讯处理组件；所述的兼容储位上设有兼容8”载具及12”载具的凹陷部；所述的动作传感器设置在所述的兼容储位上，围绕在所述的凹陷部的边缘处；所述的天线组件包括前置天线及后置天线，所述的前置天线通过所述的无线射频读写组件读写12”载具，所述的后置天线通过所述的无线射频读写组件读写8”载具；所述的前置天线及后置天线由铜线圈制成，且外部包覆有ABS外壳；所述的前置天线由一个220uH圆形天线与一个220uH棒状天线串联构成；所述的无线射频读写组件包括读写装置及感应器，所述的读写装置发出134.2kHz的电磁波对所述的感应器充电，所述的感应器将密码通过FM的调变方式传送到所述的天线组件，所述的天线组件接收密码并完成解密、读写操作；所述的通讯处理组件上设有RS232接口，所述的通讯处理组件通过所述的无线射频读写组件读取到8”载具及12”载具电子标签中的内容，并通过微控制器经RS232串口连接线传送至计算机。