发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SELBSTJUSTIERTEN KONTAKTES UND EINES DOTIERTEN BEREICHS
摘要
申请公布号 DE59607841(D1) 申请公布日期 2001.11.08
申请号 DE19965007841 申请日期 1996.07.25
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 KERBER, MARTIN
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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