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发明名称 TRAY CARRIER WITH ULTRAPHOBIC SURFACES
摘要
申请公布号 EP1622819(A4) 申请公布日期 2006.06.14
申请号 EP20040750127 申请日期 2004.04.14
申请人 ENTEGRIS, INC. 发明人 EXTRAND, CHARLES, W.
分类号 F15D1/06;B01L3/00;B01L9/00;B01L99/00;B08B17/06;H01L21/673 主分类号 F15D1/06
代理机构 代理人
主权项
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