| 发明名称 | 适用作光刻胶的可紫外线固化的粉末 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种可辐射固化的粉末光刻胶组合物，包含组分A一种聚合物，组分B一种包含有不饱和基团的化合物的活性化合物，以及组分C一种自由基光引发剂，其中粉末光刻胶组合物可溶解在显影剂中，和其中粉末光刻胶组合物的Tg为40°～120℃。 | ||
| 申请公布号 | CN100351702C | 申请公布日期 | 2007.11.28 |
| 申请号 | CN02821802.7 | 申请日期 | 2002.10.30 |
| 申请人 | DSMIP财产有限公司 | 发明人 | P·H·G·宾达;S·A·布拉特斯拉维斯基;T·A·米塞夫;S·R·施米德;R·范登伯格杰斯 |
| 分类号 | G03F7/16(2006.01);G03F7/027(2006.01);G03F7/031(2006.01);G03F7/033(2006.01);G03F7/032(2006.01);G03F7/035(2006.01) | 主分类号 | G03F7/16(2006.01) |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 肖善强 |
| 主权项 | 权利要求书1.一种能够辐射固化的粉末光刻胶组合物，包含下述组分：A一种聚合物，其Tg至少70℃，含有一种能使该聚合物可溶于碱性显影剂水溶液的官能基团B一种含有至少2个不饱和基团的活性化合物C一种自由基光引发剂，组分A是含有包含游离羧酸基团的乙烯基加成聚合物，所述聚合物由苯乙烯或者一种或多种丙烯酸烷基酯以及一种或多种α，β-烯键式不饱和羧酸制备，所述组分B包含至少一种具有一个或多个不饱和基团的活性化合物，其中，所述组分A的用量范围相对于所述组合物的总量为55重量％～85重量％，所述组分B的用量范围相对于所述组合物的总量为15重量％～45重量％，所述组分C的用量范围相对于所述组合物的总量为0.1重量％～15重量％，其中粉末光刻胶组合物具有至少一种下述性能：I酸值为90～135mg KOH/gII Tg为40～120℃III组分A与B之比为2.5～3.3。 | ||
| 地址 | 荷兰海尔伦 | ||