发明名称 基板貼合装置及び基板貼合方法
摘要 凹面を有する凹状基板と可撓性を有する薄状基板とを接着剤を介して精度よく貼り合わせることのできる基板貼合装置を提供する。中心ブロック(41)と其の両脇の分離ブロック(42)とを備え、分離ブロック(42)は、凹状基板(20)の側辺部(20b)が有する凹面(20a)の部分と概略同一形状な押圧曲面(42a)を該側辺部(20b)側に有する。そして、分離ブロック(42)は、中心ブロック(41)に寄った第1の位置Aと、凹状基板(20)の側辺部(20b)に薄状基板(21)を介して当接する第2の位置Bとの間を移動する。分離ブロック(42)が第1の位置Aに移動すると、中心ブロック(41)と分離ブロック(42)とは凹状基板(20)の凹面空間(20c)よりも小さく縮まり、分離ブロック(42)が第2の位置Bに移動すると、中心ブロック(41)と分離ブロック(42)の凹状基板(20)の凹面(20a)に沿うまで拡大する。
申请公布号 JPWO2014021192(A1) 申请公布日期 2016.07.21
申请号 JP20140528106 申请日期 2013.07.25
申请人 芝浦メカトロニクス株式会社 发明人 水野 賢一
分类号 G09F9/00;B29C65/48;B32B37/16;G06F3/041;H01L21/683 主分类号 G09F9/00
代理机构 代理人
主权项
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