压电促动器、压电振动装置及便携终端

摘要

提供一种接合于压电元件的柔性基板即使进行长期间驱动也不会从压电元件剥离而能长期间稳定地进行驱动的压电促动器、压电振动装置及便携终端。本发明的压电促动器(1)具有：压电元件(10)，其具备层叠内部电极(2)及压电体层(3)而成的层叠体(4)和在层叠体(4)的一方主面上与内部电极(2)电连接的表面电极(5)；柔性基板(6)，其一部分通过导电性接合部件(7)接合于一方主面，且具备与表面电极(5)电连接的配线导体(61)，一方主面的至少接合有柔性基板(6)的区域比另一方主面的平坦度差。

主权项

一种压电促动器，其特征在于，该压电促动器具有：压电元件，其具备层叠内部电极及压电体层而成的层叠体和在该层叠体的一方主面上与所述内部电极电连接的表面电极；柔性基板，其一部分通过导电性接合部件接合于所述一方主面，且具备与所述表面电极电连接的配线导体，所述内部电极包括第一极和第二极，在所述第一极及所述第二极沿着层叠方向重叠的厚度相对厚的活性部与该活性部以外的厚度相对薄的非活性部之间，在所述一方主面上设有台阶，所述柔性基板与所述一方主面的从所述活性部到所述非活性部的部分接合，所述一方主面的至少接合有所述柔性基板的区域比另一方主面的平坦度差。