電気銅めっき方法

摘要

本発明による電気銅めっき方法では、レベラー添加剤を含む酸性水溶液の銅めっき浴を用い、レベラー添加剤により、直流めっき条件下でラウンドの断面形状を有する銅のトレンチを形成し、１つの順方向電流パルスおよび１つの逆方向電流パルスからなる少なくとも１つの電流パルス・サイクルを用い、前記少なくとも１つの電流パルス・サイクルの間、基板に与えられる順方向電荷に対する逆方向電荷の割合は、０．１から５％の範囲である。この方法は、ブラインドマイクロビアの充填および矩形の断面形状を有するトレンチのめっきを同時に行うのに特に適している。