| 摘要 |
Ein Verfahren zum Betreiben eines Teilchenstrahlmikroskops umfasst: Einstellen (103) eines Potenzials einer Teilchenquelle; Einstellen (101) eines Potenzials eines Objekts; Richten eines Teilchenstrahls auf das Objekt; Fokussieren des Teilchenstrahls mit einer teilchenoptischen Linse; Bereitstellen einer Abhängigkeit zwischen einem Wert einer Erregung der Linse und einem Wert des Potenzials des Objekts; Verändern (125) einer Stellgröße mit Hilfe eines von einem Benutzer betätigbaren Stellelements; und Einstellen (127) der Erregung der teilchenoptischen Linse in Abhängigkeit von der Stellgröße, wobei in einem ersten Betriebsmodus (119) das Potenzial des Objekts basierend auf der Erregung der teilchenoptischen Linse gemäß der Abhängigkeit zwischen dem Wert der Erregung der teilchenoptischen Linse und dem Wert des Potenzials des Objekts eingestellt wird (129). |
