| 摘要 |
본 발명은 마이크로리소그래피 투영 노광 장치용 광학 시스템에 관한 것이다. 마이크로리소그래피 투영 노광 장치용 광학 시스템은 광학 축(OA), 복수의 미러 소자(200a, 200b, 200c,..., 300a, 300b, 300c,...)를 갖는 적어도 하나의 미러 배치(200 및 300) - 상기 미러 소자는, 미러 배치에 의해 반사된 광의 각도 분포를 변경하기 위해 서로 독립적으로 조정될 수 있음 - , 및 미러 배치(200 및 300)의 하류의 광학 빔 경로에 대해, 광학 축(OA)의 편향이 발생하는 적어도 하나의 편향면(212)을 갖는 편향 디바이스(210 및 310)를 가지며, 상기 적어도 하나의 편향면(212)은 굴절력을 갖는다. |
