片状探针及其制造方法以及其应用

摘要

提供下述的片状探针及其制造方法：即使对具有微小且微细间距的电极的电路装置也能达到稳定的连接状态，电极结构体不从绝缘膜脱落，可得到高的耐久性，对大面积的晶片或被检查电极的间距小的电路装置在老化试验中能可靠地防止因温度变化引起的电极结构体与被检查电极的位置偏移，稳定地维持良好的连接状态。本发明的片状探针具备具有多个在厚度方向上延伸的电极结构体的绝缘层和支撑该绝缘层的金属框板，电极结构体由下述部分构成：在绝缘层的表面突出的表面电极部；在绝缘层的背面上露出的背面电极部；从表面电极部的基端起连续地在绝缘层的厚度方向上延伸并与背面电极部连结的短路部；以及从表面电极部的基端部分起连续地沿绝缘层的表面延伸到外侧的保持部，本发明的制造方法的特征在于：对表面电极部和短路部个别地充填金属。

主权项

1.一种具有接点膜的片状探针，上述接点膜具备绝缘层和在该绝缘层上在其面方向上分离地配置的、在该绝缘层的厚度方向上贯通地延伸的多个电极结构体，所述片状探针的特征在于：上述电极结构体分别由下述部分构成：在上述绝缘层的表面上露出并从该绝缘层的表面突出的表面电极部；在上述绝缘层的背面上露出的背面电极部；从上述表面电极部的基端起连续地在上述绝缘层的厚度方向上贯通上述绝缘层延伸并与上述背面电极部连结的短路部；以及从上述表面电极部的基端部分起连续地沿上述绝缘层的表面延伸到外方的保持部，由形成了贯通孔的金属框板的贯通孔的周围边缘部支撑上述片状探针的上述接点膜，上述金属框板和背面电极部由不同的金属构件构成。