发明名称 |
显示基板及其制作方法、显示器件 |
摘要 |
本发明涉及显示技术领域,公开了一种显示基板及其制作方法、显示器件。所述显示基板的制作方法通过对非显示区域的薄膜晶体管的有源层进行等离子体处理,来增加其开启电压,从而减小与显示区域的薄膜晶体管的开启电压的差值,提高薄膜晶体管的阈值电压均一性,提升显示器件的显示质量。 |
申请公布号 |
CN106024811A |
申请公布日期 |
2016.10.12 |
申请号 |
CN201610556680.4 |
申请日期 |
2016.07.14 |
申请人 |
京东方科技集团股份有限公司 |
发明人 |
杨维;宁策;胡合合 |
分类号 |
H01L27/12(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/12(2006.01)I |
代理机构 |
北京银龙知识产权代理有限公司 11243 |
代理人 |
许静;刘伟 |
主权项 |
一种显示基板的制作方法,所述显示基板包括显示区域和非显示区域,所述显示区域包括多个像素区域,所述显示基板包括位于非显示区域的第一薄膜晶体管和位于像素区域的第二薄膜晶体管,所述第一薄膜晶体管的沟道的宽长比大于所述第二薄膜晶体管的沟道的宽长比,其特征在于,所述制作方法包括:通过一次构图工艺形成所述第一薄膜晶体管的有源层和第二薄膜晶体管的有源层;对所述第一薄膜晶体管的有源层进行第一等离子体处理,以增加所述第一薄膜晶体管的开启电压,减小所述第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管的开启电压的差值。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |