带电粒子束装置用试样架和带电粒子束装置

摘要

在能量色散型X射线EDX分析中，由于检测器的大面积化等，产生检测的信号的峰/背比降低的问题。为了解决上述问题，在本发明中，提供一种试样架以及应用了该试样架的带电粒子束装置，试样架的特征在于，具备：主体部，其保持试样(301)；试样压板部(103)，其可自由装卸地设置在上述主体部，通过安装到该主体部来固定在该主体部保持的试样(301)，上述试样压板部(103)具有：第一孔(107)，其用于使带电粒子束(106)经过；第二孔(108)，其向检测器(102)只导入从上述试样(301)产生的信号(302)中的特定的信号(303)。

主权项

一种试样架，其是插入带电粒子束装置的试样架，该带电粒子束装置具备：带电粒子源，其产生向试样照射的带电粒子束；以及检测器，其检测通过照射该带电粒子束而从上述试样产生的信号，上述试样架的特征在于，具备：主体部，其保持上述试样；以及试样压板部，其可自由装卸地设置在上述主体部，通过将其安装到该主体部来固定该主体部保持的试样，上述试样压板部具有：第一孔，其被设置在与上述带电粒子源相对的面上，用于使上述带电粒子束通过；以及第二孔，其被设置在与上述检测器相对的面上，向上述检测器只导入从上述试样产生的信号中的特定的信号。