自支撑超细金刚石单晶颗粒的制备方法

摘要

本发明提供了一种自支撑超细金刚石单晶颗粒的制备方法，其包括如下步骤：用金刚石微粉对有色金属衬底的表面进行研磨后，将所述有色金属衬底进行超声清洗；采用静电辅助热丝化学气相沉积法对所述有色金属衬底进行沉积，依次经过金刚石形核及金刚石颗粒生长两个阶段，得到所述自支撑的超细金刚石单晶颗粒。与现有技术相比，本发明具有如下的有益效果：1、本发明的静电辅助热丝化学气相沉积法，可在沉积中抑制金刚石颗粒与衬底附着，有效解决颗粒团聚的问题，可省去后续颗粒的衬底去除及提纯工艺，极大地提高CVD金刚石微粉的制备效率；2、本发明可实现金刚石超细单晶颗粒的动态生长，有效提高各金刚石颗粒生长的均匀性。

主权项

一种自支撑超细金刚石单晶颗粒的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：用金刚石微粉对至少两个有色金属衬底表面进行均匀机械研磨，粗化衬底表面，降低CVD金刚石形核表面能，再将所述有色金属衬底进行超声清洗去除残留微粉；采用静电辅助热丝化学气相沉积法对所述有色金属衬底进行沉积，依次经过金刚石形核及金刚石颗粒生长两个阶段，得到所述自支撑的超细金刚石单晶颗粒。