柔性微机械换能器设备及其制造方法

摘要

提供了微机械换能器阵列的柔性的技术和结构。在实施方式中，换能器阵列包括多个换能器元件，每一个换能器元件包括压电元件和一个或多个设置在支撑层中或支撑层上的电极。支撑层被结合至包括聚合物材料的柔性层，其中换能器阵列的柔性部分由柔性层的总厚度所产生。在另一实施方式中，换能器阵列的柔性部分由在其中形成的一个或多个折曲结构所产生。

主权项

一种制造微机械换能器阵列的方法，该方法包括：形成多个换能器元件，包括针对所述多个换能器元件中的每一者：在支撑层的第一侧上形成所述换能器元件的电极；在所述支撑层的所述第一侧上形成所述换能器元件的压电元件；以及在所述支撑层中形成所述换能器元件的互连体，该互连体耦合至所述换能器元件的所述电极；在形成所述多个换能器元件之后，将所述支撑层变薄以暴露所述支撑层的第二侧，其中所述多个换能器元件的各自互连体在所述支撑层的所述第一侧和所述第二侧之间延伸；以及将所述第二侧结合至柔性层，其中所述柔性层包括聚合物材料和延伸通过所述柔性层的相应的互连体，该相应的互连体针对所述多个换能器元件的各自互连体中的每一者。