Verfahren zur Zuordnung von Feldfacetten zu Pupillenfacetten zur Schaffung von Beleuchtungslicht-Ausleuchtungskanälen in einem Be-leuchtungssystem in einer EUV-Projektionsbelichtungsanlage

摘要

Bei der Zuordnung von Feldfacetten zu Pupillenfacetten (11) zur Schaffung von Beleuchtungslicht-Ausleuchtungskanälen in einem Beleuchtungssystem einer Projektionsbelichtungsanlage wird zunächst eine Fernfeld-Variation eines Beleuchtungslicht-Parameters über ein Fernfeld einer Lichtquelle der Projektionsbelichtungsanlage identifiziert. Anschließend werden die Feldfacetten den Pupillenfacetten (11) so zugeordnet, dass die identifizierte Fernfeld-Variation des Beleuchtungslicht-Parameters zwischen verschiedenen der Feldfacetten oder über ein und dieselbe Feldfacette zur Optimierung, zur Kompensation oder zur Korrektur von Objekt-Beleuchtungsparametern genutzt wird. Es resultiert eine zur Erzielung sehr hoher Strukturauflösungen optimierte Objektfeldbeleuchtung.