操作数字质量流量控制器的系统和方法

摘要

本发明涉及操作数字质量流量控制器的系统和方法,本发明的质量流量控制器包括传感器(12)。应用这种传感器监测在气体输送线内的质量流量。此外,这种传感器还给连接到传感器的电子控制系统(16)提供输出(15)。电子控制系统基于传感器的输出确定预期的质量流量。该电子控制系统还应用控制信号调节控制阀(22)以调整流经控制阀的第一气体流量。

主权项

1.一种质量流量控制器，包括：传感器；耦合到传感器的输出中的电子控制系统；从电子控制系统中接收控制信号的控制阀，其中应用该控制信号来通过控制阀调节第一气流；以及旁通阀，该旁通阀产生压力降并维持流经传感器的流量和在传感器和流经质量流量控制器的气体流量之间的恒定比率。