发明名称 碳纳米管的组装技术及电子器件
摘要 本发明属于高新科技新型纳米电子器件领域。本发明涉及碳纳米管竖立在纯净金属基底表面上的组装技术及用此技术所制造的电子器件,包括阵列场发射电子源,场发射平板显示器件,扫描探针显微镜(SPM)的针尖,场发射电子显微镜(FEM)的样品,测试碳纳米管特性的装置和利用此技术产生的量子特性与负阻特性曲线制造纳米电子放大器、振荡器和电子开关器件。#!
申请公布号 CN1091544C 申请公布日期 2002.09.25
申请号 CN99103111.3 申请日期 1999.03.24
申请人 北京大学 发明人 薛增泉;刘惟敏;顾镇南;施祖进;侯士敏;张兆祥;赵兴钰;吴锦雷;吴全德
分类号 H01L21/77 主分类号 H01L21/77
代理机构 北京华一君联专利事务所 代理人 朱美栋
主权项 1、一种单壁碳纳米管组装结构,包括单壁碳纳米管和基底两部分,其特征是:(1)单壁碳纳米管能分立、竖直、牢固的站立在基底上;(2)基底是下列金属,采用下列金属中的任意一种:金、铂、钨、钼、锑或石墨;
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