发明名称 BONDING DEVICE
摘要 가대(41)에 대하여 Y축 방향으로 이동 가능하도록 설치되는 테이블(52)과, 가대(41)에 대하여 Y축 방향으로 이동 가능하도록 각각 설치되는 제1 반동 부재(58A) 및 제2 반동 부재(58B)를 구비하고, 제1 반동 부재(58A) 및 제2 반동 부재(58B)는 테이블(52)이 Y축 방향으로 이동할 때에 Y축 방향에 있어서 테이블(52)과 역방향으로 각각 이동하도록 구성되고, 제1 반동 부재(58A) 및 제2 반동 부재(58B)는 테이블(52)을 사이에 두고 X축 방향의 양측에 각각 배치되고, 제1 반동 부재(58A) 및 제2 반동 부재(58B)는 제1 반동 부재(58A) 및 제2 반동 부재(58B)의 무게중심이 테이블(52)의 무게중심에 기초하는 위치가 되도록 배치된다. 이것에 의해 스페이스의 증가를 억제함과 아울러, 가대에 있어서의 중량 밸런스를 개선할 수 있는 본딩 장치를 제공한다.
申请公布号 KR20160127073(A) 申请公布日期 2016.11.02
申请号 KR20167026410 申请日期 2014.09.30
申请人 SHINKAWA LTD. 发明人 KAKUTANI OSAMU;TAZAWA HIDEHIRO;TUJI MASAHITO
分类号 H01L23/00;H01L21/52;H01L21/78 主分类号 H01L23/00
代理机构 代理人
主权项
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