| 发明名称 | 反应容器、石英组件与保温筒及其形成方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种反应容器、石英组件与保温筒及其形成方法，该保温筒可使用于一热反应器中，该保温筒包含至少一支柱以及多个石英翼片卡设于该支柱上，其中各个石英翼片包含一不透明石英基板且其表面包覆一薄层，该薄层是由透明石英以熔接的方式形成，具有条状分布的表面。 | ||
| 申请公布号 | CN100470717C | 申请公布日期 | 2009.03.18 |
| 申请号 | CN200610080925.7 | 申请日期 | 2006.05.22 |
| 申请人 | 台湾圆益石英股份有限公司 | 发明人 | 王斯霈;朴章铉;汤弘志;刘传亮 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I;C03B23/20(2006.01)I;C03B23/203(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 周长兴 |
| 主权项 | 1. 一种形成保温筒的方法，是将多个石英翼片卡设于至少一支柱上，其特征是，各个石英翼片由以下步骤形成：提供一不透明石英基板，该不透明石英基板包含相对的一第一表面以及一第二表面；将透明石英以熔接的方式于该不透明石英基板的第一表面形成一第一薄层，由此包覆该第一表面；以及将透明石英以熔接的方式于该不透明石英基板的第二表面形成一第二薄层，由此包覆该第二表面。 | ||
| 地址 | 台湾省苗栗县 | ||