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发明名称 SRAM-Speicherzelle mit Älzgräben und deren Array-Anordnung
摘要
申请公布号 DE10233760(B4) 申请公布日期 2007.05.03
申请号 DE2002133760 申请日期 2002.07.25
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 SOMMER, MICHAEL
分类号 H01L27/11;H01L21/822;H01L21/8239;H01L21/8244;H01L27/06;H01L27/105 主分类号 H01L27/11
代理机构 代理人
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