在刻蚀铁镍合金平板荫罩中控制三氯化铁刻蚀液的方法

摘要

本发明披露了一种在刻蚀铁镍合金平板荫罩中控制三氯化铁刻蚀液的方法，该方法包括保持FeCl₃刻蚀液的温度为60-70℃；保持FeCl₃刻蚀液的比重为1.470-1.490；以50-120千克/小时的速度往刻蚀液中通入氯气，将Fe²⁺的含量控制为占Fe²⁺和Fe³⁺总重量的4.50-10.00％；在刻蚀液中加入盐酸溶液，使HCl的含量占刻蚀液总重量的0.200-0.600％；保持Ni²⁺的含量占刻蚀液总重量的0-3.00％。由该方法可以在保证平板荫罩刻蚀质量的前提下提高铁镍合金平板荫罩的刻蚀速度，提高对三氯化铁刻蚀液中Ni²⁺含量分析的准确性。

主权项

1.一种在刻蚀铁镍合金平板荫罩中控制三氯化铁刻蚀液的方法，它包括 下述步骤： 1)保持FeCl₃刻蚀液的温度在60-70℃之间的一个温度值； 2)保持FeCl₃刻蚀液的比重在1.470-1.490之间的一个比重值； 3)以50-120千克/小时的速度往刻蚀液中通入氯气，将Fe²⁺的含量控制为 占Fe²⁺和Fe³⁺总重量的4.50-10.00％； 4)在刻蚀液中加入盐酸溶液，使HCl的含量占刻蚀液总重量的0.200- 0.600％； 5)保持Ni²⁺的含量占刻蚀液总重量的0-3.00％。