| 发明名称 |
Gerät und Verfahren zur Bildung dünner Schichten |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60018673(T2) |
申请公布日期 |
2005.08.04 |
| 申请号 |
DE20006018673T |
申请日期 |
2000.10.12 |
| 申请人 |
HOYA CORP., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
TAKAHASHI, YUKIHIRO;SHINDE, KENICHI |
| 分类号 |
C23C14/54;(IPC1-7):G02B5/28 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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