装置及び方法

摘要

荷電粒子を用いたイメージング又はファブリケーションのための装置であって、前記装置は、イオン又は電子の荷電粒子ビームを生成するように構成された荷電粒子源と、荷電粒子源と関連付けて取り付けられ、イメージング又はファブリケーションに用いられる荷電粒子ビーム内にサンプルを保持するサンプルホルダーと、光ビームを生成するように構成された光源システムと、を備え、光源システムは、光ビームをサンプル上へ方向付けるようにサンプルホルダーと関連付けて取り付けられる、これにより、イメージング又はファブリケーション中にサンプルの電子電荷を変更し、イメージング又はファブリケーションの空間分解能を向上させる。