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Mikrofon in miniaturisierter MEMS Bauweise – mit einem Silizium umfassenden Substrat (SU) und einem darauf angeordneten strukturierten Schichtaufbau, – wobei der Schichtaufbau übereinander angeordnete Teilschichten für die folgenden Funktionsschichten umfasst: – eine untere Festelektrode (FE1), darüber – eine Membran (M) und darüber – eine obere Festelektrode (FE2), – bei dem die Membran flächenmäßig aufgeteilt ist in – einen äußeren Randbereich – einen frei schwingenden Bereich, der vom äußeren Randbereich vollständig umschlossen ist, und in dem die Membran plan ausgebildet ist – einen Ankerbereich (AA) innerhalb des äußeren Randbereichs, in dem die Membran zwischen unterer und oberer Festelektrode vertikal fixiert ist, – einen Anschlussbereich innerhalb des äußeren Randbereichs, in dem eine elektrische Zuleitung zur Membran angeordnet ist, und – bei dem durch das Substrat hindurch unter dem gesamten freischwingenden Bereich eine Durchbrechung (DB) angeordnet ist und bei dem der Ankerbereich außerhalb des Flächenbereichs der Durchbrechung und über einem inneren Randbereich des Substrats angeordnet ist, – bei dem die Membran im Ankerbereich eine erste Ausbuchtung aufweist, mit der sie sich auf der unteren Festelektrode abstützt, und bei dem die obere Festelektrode im Ankerbereich eine zweite Ausbuchtung aufweist, mit der sich die obere Festelektrode auf der Membran abstützt. |
