| 摘要 |
<p>Механизм для вращения полупроводниковой пластины содержит загрузочное устройство, предназначенное для загрузки полупроводниковой пластины, и раскачивающее устройство, соединенное с загрузочным устройством; раскачивающее устройство заставляет загрузочное устройство раскачиваться в реакционной ванне для полупроводниковой пластины с тем, чтобы полупроводниковая пластина вращалась на своей собственной оси; вращение полупроводниковой пластины на своей собственной оси вместе с вращением за счет поперечных колебаний позволяют осуществить стабильную реакцию полупроводниковой пластины в реакционной ванне.</p> |
