发明名称 METHOD OF FORMING COATING FILM AND APPARATUS FOR FORMING COATING FILM
摘要
申请公布号 KR100857972(B1) 申请公布日期 2008.09.10
申请号 KR20020030550 申请日期 2002.05.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/203;B05D1/00;B05D3/10;G03F7/16;H01L21/00 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
地址