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经营范围
发明名称
METHOD OF FORMING COATING FILM AND APPARATUS FOR FORMING COATING FILM
摘要
申请公布号
KR100857972(B1)
申请公布日期
2008.09.10
申请号
KR20020030550
申请日期
2002.05.31
申请人
发明人
分类号
H01L21/203;B05D1/00;B05D3/10;G03F7/16;H01L21/00
主分类号
H01L21/203
代理机构
代理人
主权项
地址
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