| 发明名称 | 用于光敏性组合物的清除溶液 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于光敏性组合物的清除溶液，用于除去含颜料的光敏性组合物，该溶液含有脂环酮、亚烷基二醇单烷基醚和/或醇和任选地含有乙酸酯。所述清除溶液具有优异的光敏性组合物清除性能。 | ||
| 申请公布号 | CN101223483A | 申请公布日期 | 2008.07.16 |
| 申请号 | CN200680026390.3 | 申请日期 | 2006.07.11 |
| 申请人 | 昭和电工株式会社 | 发明人 | 金田昌人;寺尾浩一 |
| 分类号 | G03F7/42(2006.01);G02B5/20(2006.01);H01L21/027(2006.01) | 主分类号 | G03F7/42(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 | 代理人 | 林柏楠;刘金辉 |
| 主权项 | 1.一种用于光敏性组合物的清除溶液，该溶液是一种用于含颜料的光敏性组合物的清除溶液，其特征在于含有：(1)99-30质量％的脂环酮，和(2)1-70质量％的至少一种选自亚烷基二醇单烷基醚和醇的化合物。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||