具有圆边制动器的MEMS结构及其制造方法

摘要

本发明提供一种制造MEMS器件的方法，包括在载体衬底上方的牺牲层上形成多个圆边沟槽。然后，在牺牲层上方形成多晶硅层，以填充沟槽。多个制动器由沟槽限定并且从多晶硅层朝向载体衬底突出。随后，去除牺牲层的一部分，以在多晶硅层与载体衬底之间限定凹槽并且暴露制动器。本发明还提供了具有圆边制动器的MEMS结构及其制造方法。

主权项

一种MEMS器件，包括：载体衬底；多晶硅层，悬于所述载体衬底上方；牺牲层，介于所述载体衬底与所述多晶硅层之间；以及腔体，由所述多晶硅层、所述载体衬底和所述牺牲层限定，其中，所述多晶硅层包括具有圆边的至少一个制动器并且朝向所述载体衬底突出并进入所述腔体。