发明名称 导线架结构的制作方法
摘要 本发明提供一种导线架结构的制作方法,包括下列步骤:首先,提供金属基板,对金属基板进行图案化工艺,以形成导线架,导线架具有电镀表面以及底面;接着,提供载板,形成高分子涂料层于载板上;将导线架设置于载板上,使高分子涂料层沾附于底面而形成阻障层,阻障层覆盖底面;接着,移除载板;以阻障层作为电镀罩幕对导线架进行电镀工艺,以形成金属镀层于电镀表面;最后,移除阻障层。本发明提供的导线架制作方法,阻障层的设置,可得到电镀层均匀且电镀层只形成在电镀表面的导线架结构,提高了工艺良率;另外,载板可以重复利用,降低了制作成本。
申请公布号 CN106206325A 申请公布日期 2016.12.07
申请号 CN201510356927.3 申请日期 2015.06.25
申请人 南茂科技股份有限公司 发明人 石智仁
分类号 H01L21/48(2006.01)I;H01L23/495(2006.01)I 主分类号 H01L21/48(2006.01)I
代理机构 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人 马雯雯;臧建明
主权项 一种导线架结构的制作方法,其特征在于,包括:提供金属基板;对所述金属基板进行图案化工艺,以形成导线架,所述导线架具有电镀表面以及底面;提供载板;形成高分子涂料层于所述载板上;将所述导线架设置于所述载板上,使所述高分子涂料层沾附于所述底面而形成阻障层,所述阻障层覆盖所述底面;移除所述载板;以所述阻障层作为电镀罩幕对所述导线架进行电镀工艺,以形成金属镀层于所述电镀表面;以及移除所述阻障层。
地址 中国台湾新竹科学工业园区新竹县研发一路一号