粘弹性抛光器及使用它的研磨方法

摘要

一种用于研磨加工的粘弹性抛光器。该粘弹性抛光器，在中心部形成有规定的内周半径的孔部，并在固接着粘弹性抛光器的圆盘状台板的主表面上以等角度间隔多条地形成有从中心部向外周呈放射状的槽部。由此，具有能稳定地供给研磨液、且不需要对粘弹性层形成槽部的效果。

主权项

1、一种粘弹性抛光器，由在圆盘状台板的规定表面上设置粘弹性层而成，其特征在于，在所述圆盘状台板的规定表面上形成多条从中心部向外周部呈放射状的槽部，使所述各放射状的槽部相对于通过所述圆盘状台板中心点的中心线以±15度以下的角度范围进行交叉。