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发明名称 SLURRY COMPOSITION FOR BACK SIDE- POLISHING ON SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 KR20050061110(A) 申请公布日期 2005.06.22
申请号 KR20030092994 申请日期 2003.12.18
申请人 CHEIL INDUSTRIES INC. 发明人 ROH, HYUN SOO;PARK, TAE WON;LEE, KIL SUNG
分类号 C09K3/14 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项
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