| 摘要 |
研磨加工時の立ち上がり時間を短縮し平坦性向上を図ることができる研磨パッドを提供する。研磨パッド１０は、湿式成膜法により形成されたポリウレタンシート２を備えている。ポリウレタンシート２は、カーボンブラックおよびイオン性界面活性剤が無添加の状態で形成されたものである。ポリウレタンシート２では、スキン層が除去された表面により研磨面Ｐが構成されている。研磨面Ｐでは、開孔５、開孔６が形成されている。ポリウレタンシート２では、研磨面Ｐに水滴を滴下して０．５秒後の接触角をＣＡ１とし、水滴の滴下から１０．５秒後の接触角をＣＡ２としたときに、｛（ＣＡ１−ＣＡ２）／ＣＡ１｝×１００で表される接触角変化率が、２０〜５０％の範囲に調整されている。研磨加工時に供給されるスラリがポリウレタンシート２に浸透しやすくなる。 |
