具有带有用于电子电路的间隙的新型成像传感器的扫描成像系统

摘要

呈现了一种成像传感器，包括具有用于电子电路的间隙的XY坐标系中的2D像素阵列。另外，提供了用于利用这样的传感器对样品的斜截面成像的扫描成像系统。特别地，当成像传感器处于倾斜配置中时，该传感器具有特定优点。传感器允许最大化传感器的光敏区域中的像素的光活性部分，其造成最大化的填充因数。另外，这造成非常光敏感的传感器并且因而可以避免微透镜。成像传感器的一个或多个间隙还促进更快的读出，因为可以在间隙内在成像传感器上定位更多电路。

主权项

一种扫描成像系统，具有沿Z方向的光轴并且包括包含正交XY坐标系中的2D像素阵列的成像传感器（400），Z方向垂直于Y方向，2D像素阵列包括包含多个像素（415,416）的第一像素线（410），其中第一像素线沿Y方向延伸，包含多个像素（418,419）的第二像素线（411），其中第二像素线沿Y方向延伸，第一与第二像素线之间的第一非光敏间隙（402），其中第一像素线的像素和/或第二像素线的像素的读出电子器件（412,413）定位在第一非光敏间隙（402）中，其中成像传感器的每一个像素包括光电二极管（602），其中成像传感器包括沿X方向的读出线（603,604），其配置成读出和寻址相应光电二极管，并且其中成像传感器绕作为旋转轴的Y轴倾斜。