| 摘要 |
임프린트 시의 전사성 및 구조체에 전사된 패턴의 내용제성 모두가 뛰어난 임프린트용 광경화성 수지 조성물을 제공한다. 본 발명에 의하면, 광중합성의 (메타)아크릴계 모노머(A) 및 광개시제(B)를 적어도 포함하는 임프린트용 광경화성 수지 조성물에 있어서, 상기 (메타)아크릴계 모노머(A)의 배합 비율이, (a-1) 3관능 (메타)아크릴레이트 화합물 60~97질량% (a-2) 4관능 이상의 (메타)아크릴레이트 화합물 3~40질량% (a-3) 2관능 이하의 (메타)아크릴레이트 화합물 0~37질량% (다만, (a-1)~(a-3)의 합계가 100질량%로 한다)인, 임프린트용 광경화성 수지 조성물이 제공된다. |
