| 摘要 |
Ein optisches Inspektionssystem umfasst ein erstes optisches Modul und ein zweites optisches Modul. Das erste optische Modul umfasst eine erste Lichtquelle, die eine erste optische Achse hat, und eine erste Bilderfassungseinheit, die eine erste Bilderfassungsachse hat. Die erste optische Achse und die erste Bilderfassungsachse sind in Bezug auf eine Normallinie einer Inspektionsebene symmetrisch. Ein erster Winkel wird zwischen der ersten optischen Achse und der ersten Bilderfassungsachse gebildet. Das zweite optische Modul umfasst eine zweite Lichtquelle, die eine zweite optische Achse hat, und eine zweite Bilderfassungseinheit, die eine zweite Bilderfassungsachse hat. Die zweite optische Achse und die zweite Bilderfassungsachse sind in Bezug auf die Normallinie symmetrisch. Ein zweiter Winkel wird zwischen der zweiten optischen Achse und der zweiten Bilderfassungsachse gebildet und unterscheidet sich von dem ersten Winkel. |
