微电容式麦克风系统及其制造方法

摘要

一种微电容式麦克风系统，包括由若干个微电容式单元排列形成的可伸缩式麦克风阵列，各微电容式单元包括低电极，支撑在低电极上的薄膜，在薄膜与低电极之间形成真空密封空间，所述微电容式单元还包括硅基体，低电极层叠在硅基体上，薄膜表面的中心部分覆盖有中心信号线，在薄膜两侧分别形成一接地电极，两接地电极与中心信号线共同构成传输线。本发明还提供一种制造前述微电容式麦克风系统的方法。本发明的电容式麦克风具有灵敏度高、稳固性好的优点，且在宽频带使用时具有均匀频响。

主权项

1.一种微电容式麦克风系统，包括若干个微电容式单元排列形成的麦克风阵列，各微电容式单元包括低电极，支撑在低电极上的薄膜，在薄膜与低电极之间形成真空密封空间，其特征在于：所述微电容式单元还包括硅基体，低电极层叠在硅基体上，薄膜表面的中心部分覆盖有中心信号线，在薄膜两侧各形成一接地电极，两接地电极与中心信号线构成传输线。