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发明名称
Halbleitervorrichtung und deren Herstellungsverfahren
摘要
申请公布号
DE69738012(T2)
申请公布日期
2007.12.13
申请号
DE1997638012T
申请日期
1997.11.25
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO. LTD.
发明人
UKEDA, TAKAAKI;KUDO, CHIAKI;YABU, TOSHIKI
分类号
H01L21/762;H01L21/3205;H01L23/522;H01L29/06
主分类号
H01L21/762
代理机构
代理人
主权项
地址
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