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发明名称 Acid-labile polymer and resist composition
摘要
申请公布号 EP1254915(A3) 申请公布日期 2007.09.19
申请号 EP20020250452 申请日期 2002.01.23
申请人 KOREA KUMHO PETROCHEMICAL CO. LTD. 发明人 PARK, JOO-HYEON;SEO, DONG-CHUL;LIM, YOUNG-TAEK;CHO, SEONG-DUK;JOO, HYUN-SANG;KIM, SEONG-JU
分类号 C08F8/12;C08F222/06;C08F222/00;C08F232/00;G03F7/033;G03F7/039;H01L21/027 主分类号 C08F8/12
代理机构 代理人
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