发明名称 半导体器件的制造方法
摘要 本发明提供一种半导体器件的制造方法,包括如下步骤:在第一衬底的一个表面上形成吸收光的层;在吸收光的层上提供第二衬底;与第一衬底的另一个表面相对地提供掩模;以及通过经由掩模对吸收光的层照射激光束,将吸收光的层的一部分转印到第二衬底。
申请公布号 CN101118849A 申请公布日期 2008.02.06
申请号 CN200710138353.8 申请日期 2007.07.27
申请人 株式会社半导体能源研究所 发明人 宫入秀和;小路博信;下村明久;比嘉荣二;森若智昭;山崎舜平
分类号 H01L21/02(2006.01);H01L21/203(2006.01);H01L21/31(2006.01);H01L21/3205(2006.01) 主分类号 H01L21/02(2006.01)
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 王永刚
主权项 1.一种半导体器件的制造方法,包括如下步骤:在第一衬底的一个表面上形成吸收光的层;在所述层上提供第二衬底;与所述第一衬底的另一个表面相对地提供掩模;以及通过经由所述掩模对所述层照射激光束,将所述层的一部分转印到所述第二衬底。
地址 日本神奈川