发明名称 |
半导体器件的制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种半导体器件的制造方法,包括如下步骤:在第一衬底的一个表面上形成吸收光的层;在吸收光的层上提供第二衬底;与第一衬底的另一个表面相对地提供掩模;以及通过经由掩模对吸收光的层照射激光束,将吸收光的层的一部分转印到第二衬底。 |
申请公布号 |
CN101118849A |
申请公布日期 |
2008.02.06 |
申请号 |
CN200710138353.8 |
申请日期 |
2007.07.27 |
申请人 |
株式会社半导体能源研究所 |
发明人 |
宫入秀和;小路博信;下村明久;比嘉荣二;森若智昭;山崎舜平 |
分类号 |
H01L21/02(2006.01);H01L21/203(2006.01);H01L21/31(2006.01);H01L21/3205(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/02(2006.01) |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
王永刚 |
主权项 |
1.一种半导体器件的制造方法,包括如下步骤:在第一衬底的一个表面上形成吸收光的层;在所述层上提供第二衬底;与所述第一衬底的另一个表面相对地提供掩模;以及通过经由所述掩模对所述层照射激光束,将所述层的一部分转印到所述第二衬底。 |
地址 |
日本神奈川 |